半导体用高洁净度FFKM橡胶密封圈 耐高温高压 强腐蚀
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半导体用高洁净度FFKM橡胶密封圈 耐高温高压 强腐蚀
半导体用 FFKM 全氟醚密封圈（Perfluoroelastomer O‑Ring），采用高纯度全氟化橡胶材质，无填料 / 低析出配方，十万级洁净车间生产，专门针对晶圆制造严苛工况开发，兼顾橡胶高弹性与 PTFE 近乎完美的化学惰性，是刻蚀 Etch、CVD、PVD、ALD、湿法清洗、真空腔体、高纯气路系统的核心密封耗材，低释气、低产尘，避免微粒、离子析出污染晶圆，保障芯片良率与设备连续运转时长。
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