半导体FFKM全氟醚O型圈 耐等离子低析出 刻蚀机CVD腔体真空密封圈 源头厂家,支持定制
半导体工艺级FFKM全氟醚密封圈,耐高温、耐等离子轰击、耐强腐蚀特气与药液,低放气、低金属离子析出,适配刻蚀、CVD、ALD、离子注入等核心晶圆设备,无尘生产包装,可替代进口品牌。
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